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ウエハ洗浄後の乾燥  −半導体・電子部品業界−
 


ウエハの洗浄後の乾燥



 
シンプルな設置で乾燥エアの加熱ができます。


洗浄工程後の乾燥にもクリーンタイプで対応します。乾燥用のエアーやN2ガスなどの配管に直接接続が可能で、配管温調など煩雑になりがちの設置は不要です。
応答性もよく、温度制御も容易です。



 対象製品:ホットエアーヒーター
(小型熱風ヒーター


       
    CLHシリーズ


       

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お客様でご評価いただくための機器を貸し出しするサービスです。

※お客様に準備いただくもの、ご用意いただく設備などもございます。詳細につきましてはご相談ください。

 
お客様の設備にて、弊社が立ち会って評価を行うサービスです。現場で評価ができるため、条件設定、変更も即座に行なえ、結果が出るのも早いです。


評価に割く時間がなかなか取れないが、結論は急いでいる。こんなお客様にご利用いただきたいサービスです。

※加熱対象を弊社へご提供いただく必要があります。


  
 

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